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氢气纯化器

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氢气纯化器

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产品描述
产氢量/Houtput0.05-1000 m3/h
纯度Hpurity99.99 – 99.9999999%
主要用途Main applications
色谱Gas chromatography
燃料电池Fuel cell
核能Nuclear power
多晶硅Polysilicon
电子Electronics
冶金Metallurgy

 

  可利用的原料氢来源有:重整制氢(煤、天然气、汽油、柴油、石脑油、甲醇、乙醇、二甲醚、乙醚等);各种副产氢(氯碱、炼化、石化、焦化、煤化工等);化学分解制氢(氨、铝、硼氢化物、氢化物、甲酸等);电解(碱液、纯水)制氢等。

  可广泛用于氢能、半导体芯片、烧结炉保护气、MOCVD、人造金刚石、色谱分析等领域,以及氢气/氦气分离、氢同位素(氕氘氚)的分离与纯化。

半导体芯片、液晶显示器-CVD氢气纯化器

 ■半导体芯片的CVD制造工艺所需氢气纯度8N~12N,只能通过钯膜纯化。本公司产品打破了国外垄断,也可为TFT-LCD液晶显示器的CVD工艺提供关键电子气。

人造金刚石用氢气纯化器

 ■用于MPCVD工艺,显著提升人造金刚石的质量和成色(特别是用作首饰)。

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